掃描探針顯微鏡（ Scanning probe microscopes ， SPMs ）是用於測量樣品表面 / 介面性質的一類高解析度的探針型顯微鏡，根據其成像原理和操作模式的差異，主要分為原子力顯微鏡（ atomic force microscopes ， AFMs ）和掃描隧道顯微鏡（ scanning tunneling microscopes ， STMs ）等。 SPM 儀器的探針由壓電陶瓷驅動，在物體表面作精確的掃描。探針距離樣品表面的距離控制在一定的範圍內，進行掃描工作，最終以奈米級 解析度 獲得樣品表面的結構資訊。傳統的分析儀器，往往通過間接或計算的方法來推算樣品的表面結構 ，但是 SPM 可以即時的獲得樣品表面真實的結構特徵。因此 SPM 技術的出現，幫助人們首次獲得了原子在平整表面排布的高解析的真實圖像。除此之外，與 SEM 等技術相比， AFM 在常溫常壓大氣下以及在液體環境下均可成像，實驗操作中無需對樣品進行任何特殊處理，就可以在微米級到埃米級的掃描範圍內完成高精度表面測量，並且提供真正的三維形貌圖。
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BioScope Catalyst Atomic Force Microscope
Dimension Automated Atomic Force Profiler
Dimension Edge Atomic Force Microscope
Dimension FastScan Atomic Force Microscope
Dimension Icon Atomic Force Microscope
Innova Scanning Probe Microscope
InSight 3D Automated Atomic Force Microscope
Integrated AFM-Raman Imaging System (IRIS)
Catalyst-IRIS 和 Innova-IRIS 原子力顯微鏡 ( 與共軛焦拉曼顯微鏡結合的模組 )
MultiMode 8 Scanning Probe Microscope
